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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修,安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵保养
特点:
Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。
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任何真空泵都有不足之处,涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点:(1) 设备费用高;(2) 对颗粒物或沉积物敏感;(3) 噪音与振动;(4) 破碎问题;(5) 暴露大气易引起事故
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Osaka日本大阪真空曾经制造出世界上**台复合涡轮分子泵,也制造了当时世界上*大的涡轮分子泵。
分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件,才能满足泵的工作要求:
a、高速下具备良好的润滑性能;
b、饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压;
c、粘度适当,使之兼有轴承冷却液的作用。
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